净化工程(clean room),亦称为净化工程,净化车间、无尘室工程、无尘车间、洁净室程。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。在 fed-std-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
净化工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化工程主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求
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